プレスリリース

株式会社パテント・リザルトは12月4日、「半導体製造装置業界」の特許を対象に、各社が保有する特許資産を質と量の両面から総合評価した「半導体製造装置業界　特許資産規模ランキング2023」をまとめました。2022年4月1日から2023年3月末までの1年間に登録された特許を対象に、個別特許の注目度を得点化する「パテントスコア」を用いた評価を行い、企業ごとに総合得点を集計しました。
集計の結果、1位 東京エレクトロン、2位 APPLIED MATERIALS、3位 ディスコとなりました。






1位 東京エレクトロンの注目度の高い特許には「極端紫外線リソグラフィに利用可能な光増感化学増幅レジストのモデル較正」や「基板の上に密度の均一性が改善された気相ラジカルを提供するシステム」に関する技術が挙げられます。いずれの特許も、中国、米国、韓国、台湾にも出願されています。

2位 APPLIED MATERIALSは「35℃以下で金属酸化物によりカプセル化した薬物を調製する医薬組成物及び方法」や「電子デバイス製造用の環境要因を向上したロードポート機器」に関する技術が注目度の高い特許として挙げられます。

3位 ディスコの注目度の高い特許には「接着剤を使用せずにシートをフレームに固定し、シートとフレームの分離後に清掃作業が不要な加工方法」や「デバイスチップのボンディング不良を抑制できる銅張積層板の製造方法」に関する技術が挙げられます。

4位 SCREENホールディングスは「撮像によって得られた画像による対象物の外観検査で、検査の精度を高めるための技術」、5位 KLAは「接地またはバイアスされた導電性接点を備えた裏面照射型イメージセンサ」などが、それぞれ注目度の高い特許として挙げられます。


詳細については、ランキングデータ「半導体製造装置　特許資産規模ランキング2023」にてご覧いただけます。


■価格：50,000円（税抜）
お申し込みは下記URLをご参照ください。
https://www.patentresult.co.jp/news/2023/12/semicon.html


■本件に関するお問い合わせ先
株式会社パテント・リザルト　事業本部　営業グループ
ホームページURL：https://www.patentresult.co.jp/
メールアドレス：info@patentresult.co.jp


■会社概要
社名：株式会社パテント・リザルト
住所：〒113-0033　東京都文京区本郷2-15-13 お茶の水ウイングビル5階